Array-在线自动光学检测设备（Inline）是用于TFT-LCD显示面板Array阵列制程中的工艺设备状况的实时监控，其高节拍和客制化检测精度的配置实现了速度和检测精度的优化结合，能够满足产线的产能、产品质量控制等各项需求。

应用范围：

?  G2.5代到G11代 TFT-LCD面板厂Array Inline AOI

主要功能：

?  阵列区域( Array)的缺陷检测

?  外围电路区域(PAD)缺陷检测

?  宏观( Digital Macro)检测

?  基于分区阀值(RBT)的缺陷检测

?  缺陷手动和自动拍照系统

?  数据分析和趋势统计工具