运动平台采用分段式非接触的气浮平台，提高了玻璃基板的平整度，实现了高精度高速检测。模块化的机械设计提高了平台可靠性，平台主体构型兼容多种照明系统，且适用于在线和离线检测技术。运动控制电机定位精度达到纳米级别。